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SiC制造设备，国产新突破

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半导体设备ETF易方达（159558）涨0.70%，成交额7923.75万元

半导体设备ETF基金（159327）涨0.40%，成交额2597.89万元

半导体ETF南方（159325）涨0.00%，成交额3210.93万元

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